QST2320高压型SMU，提供四象限精密电压和电流源/负载，使用简单易用的触摸屏用户界面进行测量。最高3000V的测量及输出电压，满足用户高压下高精度测量的需求。高达0.1fA的测量分辨率及100fA的准确度。可用于测试高电阻、低泄漏器件、材料和模块，如碳化硅 (SiC)、氮化镓(GaN)、功率 MOSFET、瞬态抑制器件、电路保护器件、功率模块和电池等。
主要功能
1. 四象限电源和测量功能，可准确地测量电流和电压，而无需手动更改任何连接；
2. 支持1kV、3kV、5kV高压输出及测量，满足宽禁带半导体高压测试需求
3. 最小测量分辨率可达100fA/100nV
4. 支持2线/4线测量
5. 支持前后端子切换
6. 集成多种仪器功能(电压源、电流源、电压表、电流表、高阻表)
7.提供了4.3寸触摸显示屏及简单易用的GUI，可快速进行测量和显示数据
8. 支持SCPI 命令，兼容行业常见的 SMU 代码
9. 支持USB、LAN、RS232等接口，快速对接各种系统
型号 | QST2320-1000 | QST2320-3000 | QST2320-5000 |
显示 | 4.3寸LCD | ||
最高电压 | 1000V | 3000V | 5000V |
最大电流 | 30mA | 10mA | 5mA |
电压量程 | 200mV/2V/20V/200V/2000V | 200mV/2V/20V/200V/2000V/4000V | 200mV/2V/20V/200V/2000V/6000V |
电流量程 | 10nA/100nA/1uA/10uA/100uA/1mA/10mA/100mA | 10nA/100nA/1uA/10uA/100uA/1mA/10mA | 10nA/100nA/1uA/10uA/100uA/1mA/10mA |
电压测量精度 | 0.02% | 0.04% | 0.06% |
电流测量精度 | 0.03% | 0.05% | 0.08% |
通讯接口 | LAN/USB/RS232 | ||
通讯协议 | SCPI | ||
输入 | 220V AC ±10%；47Hz~63Hz | ||
温度 | 工作温度：0℃~50℃；存储温度：-20℃~65℃ | ||
