概述:QST2320高压型SMU，提供四象限精密电压和电流源/负载，使用简单易用的触摸屏用户界面进行测 量。最高3000V的测量及输出电压，满足用户高压下高精度测量的需求。高达0.1fA的测量分辨率及 100fA的准确度。可用于测试高电阻、低泄漏器件、材料和模块，如碳化硅 (SiC)、氮化镓(GaN)、功 率 MOSFET、瞬态抑制器件、电路保护器件、功率模块和电池等。