产品介绍
缺陷能谱测试仪利用深能级陷阱对载流子的俘获和激发特性所表现出的电学特性测量半导体材料、器件、外延的界面态、杂质浓度、缺陷能级位等表征参数。设备通过对样品施加多种激励，对样品的电容进行高速数字化，实时分析其时频特性，并采用先进的AI技术对缺陷数据进行分类、识别、统计，为试验和生产提供有效指导数据。
主要功能
★极性识别★CV扫描
★瞬态电容测试★C-TLTS
★支持复合激励★支持AI建模
★时频分析★指数拟合
★温度扫描★电子束扫描
型号 | QTCS241KA-TE | ||||
偏置电源 | 电压范围 | ±24V | 脉冲电源 | 电压范围 | ±24V |
电压步进 | 0.1V | 电压步进 | 10mV | ||
电压纹波 | 0.3mVrms | 脉冲宽度 | 100ns～20s | ||
电容计 | 测量范围 | 1pF～100nF | 采集器 | 有效采样率 | 1MSPS |
电容灵敏度 | 0.1fF | 采样精度 | 16bits | ||
测试频率 | 1MHz | 采样范围 | ±1V/±5V | ||
测试电平 | 20mV | 采样模式 | 静态/触发 | ||
恒温器 | 温度范围 | 20K～500K | 电子束 | 束流能量 | 1KeV～50KeV |
制冷方式 | 液氦闭环 | 束斑尺寸 | 0.5mm～100mm | ||
温度稳定度 | ±0.01K | 光束电流 | 10nA～10mA | ||
