半导体参数测试仪QST2300

概述:QST2300 是一款支持高压全范围半导体器件参数精密测试仪器，可进行高压电流电压测试(IV)、高压电容电压测试(CV)、大功率大电流脉冲测试(Pulsed IV)等。它能够对宽禁带半导体材料和器件(SiC、GaN、Ga2O3等)参数进行快速高精度测试和性能表征。

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产品简介
技术参数
产品规格

精测芯能量 · 智控芯标准

高压测试3000 V

脉冲电流2000 A

精度0.01 fA

QST2300 组成

QST2300 嵌入式精密测试系统

QST2300采用嵌入式屏幕组件，系统搭建简便快捷，能够提供高电压范围高性能半导体参数精密测试，配合多点触摸操作图形软件，快速测试提取器件性能参数，助力新型半导体材料、器件和工艺开发。

测量参数

QST2300采用器件模型测试框架，支持扩展和自定义器件模型、测试用例模型等，测试参数和测试器件不限于下表。

MOSFET

IdVg, IdVd, IgVg, Vth, Vdiode, Rdson, Vbr, C, QSCV, LFCV等

三极管

IcVc, Vcsat, Gummel plot, C, fβ, fα, ft等

功率器件

Pulsed IdVg, Pulsed IdVd, Vbr, Il, CV, Ciss, Coss, Crss, Rg等

非易失性存储器

Vth, C等

纳米器件

R, IdVg, IdVd, IcVc等

材料

ρ, Rh, Vbr, Il等

光伏器件

If, Ir, Vbr等

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AccurateTest 软件

QST2300包括AccurateTest 软件，可以执行各种类型的IV、CV 和Pulsed I-V 表征测试。其用户界面提供了多点触摸控制功能，能够进行全生命流程的器件管理，支持预置测试模型和自定义测试模型，为宽禁带半导体材料、器件表征提供了快速、灵活的参数测试和分析功能。

多点触摸

10点触控，流畅交互

全生命周期管理

器件追溯，一键录入

预置测试模型

MOSFET、功率器件等

自定义模型

扩展灵活，用例开放

快速参数提取

Vth, Rdson, C 等

选配附件

QST2300-A-01-*支持1000V低泄漏信号传输，超低噪声1000V SMU 三同轴电缆：1m、2m、3m

QST2300-A-02-*IV/CV切换盒附带

QST2300-A-03-*Interlock线缆

QST2300-A-04-*BNC 到 BNC 电缆，1m、2m、3m

QST2300-A-05-*超低噪声 3000V SMU 三同轴电缆：1m、2m、3m

QST2301-A-3T1LO极三同轴引出模块

QST2301-A-4T1LO极三同轴引出模块

QST2311-QST2301-A-2T1三同轴引出模块

QST2308-A-TO3P/247-4L(3.81)夹具模块

QST2308-A-SOT-23/SOT-89夹具模块

QST2308-A-TO/DO2夹具模块

QST2300-A-CASEQST2300带拉杆铝合金便携包装箱

基本技术指标

主机显示器15.6" LCD, 1920×1080, 10点容性触摸

外部显示器HDMI/DP, 支持1920×1080

温度范围工作：+10~+40℃；贮存：-15~+60℃

湿度范围工作：5%~80% RH；贮存：5%~90% RH，无冷凝

高度工作：0~2000m；贮存：0~4000m

功率要求100-240V, 50/60Hz, 500W

安规标准CCC

外观尺寸42.5×22.3×46 cm (宽高深)

重量(近似)四个SMU配置 32.8 kg

I/O 端口USB, HDMI, 打印机, RS-232, 以太网, 鼠标, 键盘

负载电容没有限制

最大电流双三同轴连接时 3A

输出端接口双三同轴

电缆电阻FORCE ≤1Ω, SENSE ≤10Ω
订货信息
QST2300A/QST2300

英特尔®酷睿™ i5

英特尔®酷睿™ i5

15.6" 10点触摸

15个PXIe插槽(5槽位可选)

11×USB(1×Type-C)

2×2.5G以太网

2×RS232/422

内置高压SMU(0/1000V/3000V可选)

附件：1.5m 电源线

QST2310

2000W脉冲功率(±40V，±50A)

200W直流(±10V@20A等)

1pA分辨率

最小脉宽100μs

占空比1%~100%

附件：-

QST2320-3000

±3000V/10mA

0.03%基本精度

10fA电流分辨率

2μV电压分辨率

四象限工作

2/4线连接

附件：2根 QST2300-A-05-2.0 三同轴电缆, 2m

QST2301

±200V/100mA (±20V/1A, 脉冲±3A)

10fA分辨率(可扩展0.1fA)

准静态电容测量

最小脉宽10μs

四象限, 2/4线

附件：1根 QST2300-A-03-2.0, 2根 QST2300-A-01-2.0

QST2311

±60V/330mA (±6.6V/3A, 脉冲±10A)

100fA分辨率

准静态电容测量

四象限, 2/4线

附件：-

QST2317

2通道, 800MSPS, 1.25ns分辨率

20MHz带宽, 16位

电压范围: 12Vpp@50Ω

附件：-

QST2313

Cs, Ls, R, Z, Cp, D, Q ...

10Hz ~ 10MHz

基本精度0.05%

电容100fF~100mF

偏压±30V

附件：BNC接口电容测试夹1套

QSTRPAMU

扩展QST2301/2311分辨率至0.1fA

最大电压200V

附件：-

QST2314

为CMU提供CV测试能力

Ciss, Coss, Crss, Rg测试电路

偏置高达3000V

低泄漏, USB/IO控制

附件：-

QST2309

自动参数录入与调用

一键参数录入

全生命周期追溯

附件：器件管理模块

QST2315

1路高压SMU+4路低压SMU/5路低压SMU

支持1路CMU

内置Ciss/Coss等测试电路

偏置3000V, 低泄漏, 安全锁

可替换夹具

附件：-

QST2316

支持5路低压SMU, 1路LCR

内置HCU, ±60V/±2000A脉冲

最小脉宽50μs

附件：-
套件配置

QST2300-PKA

高分辨率 I-V 配置

QST2300主机

QST23012个低压SMU

QST2308高性能测试盒

QST2300-PKB

I-V & C-V 高精度

QST2300主机

QST23012个低压SMU

QST23131个CVU

QST2307IV/CV开关模块

QST2308高性能测试盒

QST2300-PKC

高压IV + 宽禁带CV

QST2300主机

QST23013个低压SMU

QST2320-30001个高压SMU

QST23131个CMU

QST2307IV/CV开关模块

QST2316大电流扩展测试盒