缺陷能谱测试仪

1．产品介绍

    缺陷能谱测试仪利用深能级陷阱对载流子的俘获和激发特性所表现出的电学特性测量半导体材料、器件、外延的界面态、杂质浓度、缺陷能级位等表征参数。设备通过对样品施加多种激励，对样品的电容进行高速数字化，实时分析其时频特性，并采用先进的AI技术对缺陷数据进行分类、识别、统计，为试验和生产提供有效指导数据。

2．主要功能

★ 极性识别	★ CV扫描
★ 瞬态电容测试	★ C-TLTS
★ 支持复合激励	★ 支持AI建模
★ 时频分析	★ 指数拟合
★ 温度扫描	★ 电子束扫描

3．规格参数